研磨设备 / GRINDING EQUIPMENT
DY1000
碳化硅晶圆减薄机
面向 6 / 8 / 12 英寸
SiC 晶圆的精密减薄加工
金刚石砂轮研磨与在线厚度测量
采用 Φ300 mm 金刚石砂轮、空气式主轴和真空吸附工作台，配合双探针接触式测厚（IPG），完成碳化硅晶圆的研磨减薄。触摸屏支持参数输入、模式选择及加工数据查看。
查看详细技术参数
≤2 μmTTV · EE3，TV5
11 kW高频三相异步电机
0.1 μmZ 轴移动分辨率
SPECIFICATIONS
技术参数
设备配置、运动控制、测量系统与加工精度。
基本配置
| 项目 | 单位 | DY1000 |
|---|---|---|
| SiC 晶圆尺寸 | 英寸 | 6 / 8 / 12 |
| 工件厚度 | mm | 最大 40（标准设置 1.0） |
| 研磨系统 | — | In-feed 研磨方式 |
| 砂轮 | mm | Φ300（12 英寸）金刚石砂轮 |
| 研磨模式 | — | 全自动模式 / 手动模式 |
主轴部分
| 项目 | 单位 | DY1000 |
|---|---|---|
| 轴承类型 | — | 空气式 |
| 主轴数量 | 个 | 1 |
| 电机 | kW | 11，高频三相异步电机 |
| 电机电流显示 | — | 显示器实时显示，可保存峰值电流 |
| 主轴转速 | rpm | 1,000–4,000 |
| 转速设定单位 | rpm | 1 |
Z 轴移动
| 项目 | 单位 | DY1000 |
|---|---|---|
| 竖直行程 | mm | 100 |
| 竖直进给速度 | mm/s | 0.0001–0.080 |
| 竖直快速进给速度 | mm/s | 50 |
| 竖直移动最小值 | μm | 0.1 |
| 竖直移动分辨率 | μm | 0.1 |
研磨工作台
| 项目 | 单位 | DY1000 |
|---|---|---|
| 陶瓷盘类型 | — | 多孔陶瓷盘 |
| 装夹方式 | — | 真空吸盘 |
| 工作台转速 | rpm | 0–300 |
| 转速设定单位 | rpm | 1 |
| 陶瓷盘规格 | 英寸 | 6 / 8 / 12，可定制尺寸 |
| 陶瓷盘数量 | 个 | 1 |
| 陶瓷盘清洗方式 | — | 水 / 气 / 毛刷 / 油石 |
厚度测量与加工精度
| 项目 | 单位 | DY1000 |
|---|---|---|
| 测量方式 | — | 双探针接触式测厚（IPG） |
| 测量范围 | mm | 0–50 |
| 测量分辨率 | μm | 0.5 |
| 测量重复精度 | μm | ±3.5 |
| TTV | μm | ≤2，EE3，TV5 |
| 片间厚度差 WTW | μm | ≤±5 |
清洁与操作
| 项目 | 单位 | DY1000 |
|---|---|---|
| 毛刷清洁扭矩 | N·m | 1.3 |
| 油石清洁扭矩 | N·m | 1.3 |
| 操作屏 | — | 触摸屏式液晶显示器 |
| 数据显示 | — | 晶片数量、晶片厚度、错误信息等 |
| 操作功能 | — | 全自动启停、操作模式选择、数据输入、操作屏幕选择 |
真空单元
| 项目 | 单位 | DY1000 |
|---|---|---|
| 最大排气量 | m³/min | 1.33（50/60 Hz） |
| 极限压力 | mbar | 33 |
| 电机功率 | kW | 2.35 |
| 耗水量 | L/min | 2.5（供水温度 23±2 ℃） |
| 用水 | — | 厂务水或自来水 |
TTV 条件标记“EE3，TV5”及 WTW 表述按技术规格书保留，具体检测条件以技术确认为准。
UTILITY REQUIREMENTS
厂务要求
以下配电、供气、供水、排水与排气设施由使用方配置。
配电与压缩空气
| 项目 | 单位 | DY1000 |
|---|---|---|
| 电源电压 | V AC | 三相 208±10% |
| 频率 | Hz | 50 / 60 |
| 最大功率 | kVA | 25 |
| 气压 | MPa | 0.5–0.7，最大变化值 0.03 |
| 压缩空气流量 | L/min | ≥400 |
| 气路接口 | — | 外径 Φ12 快插接头（Rc 1/2） |
设备磨削用纯水
| 项目 | 单位 | DY1000 |
|---|---|---|
| 压力 | MPa | 0.3–0.4 |
| 流量 | L/min | ≥25 |
| 水温 | ℃ | 室温 +2；每小时最大变化 1 |
| 接口 | — | Rc3/4-19 宝塔接头（Rc3/4） |
| 水源 | — | 纯水（UPW 或 DI Water） |
冰机冷却用水 PCW
| 项目 | 单位 | DY1000 |
|---|---|---|
| 压力 | MPa | 0.2–0.3 |
| 流量 | L/min | ≥6 |
| 水温 | ℃ | 20–25；每小时最大变化 2 |
| 接口 | — | 外径 Φ12 快插接头（Rc 1/2） |
| 水源 | — | PCW |
真空单元用水
| 项目 | 单位 | DY1000 |
|---|---|---|
| 压力 | MPa | 0.2–0.3 |
| 流量 | L/min | 5（供水温度为室温） |
| 接口 | — | 外径 Φ12 快插接头（Rc 1/2） |
| 水源 | — | 自来水或城市用水，直排 |
排水与排气
| 项目 | 单位 | DY1000 |
|---|---|---|
| 主机研磨废水 | — | 波纹软管 ID60 × OD75 mm；客户接内径 75 mm 排水管 |
| 真空泵排水 | — | Rc1/2-19 宝塔接头（Rc1/2），自来水直排 |
| 冰机排水 | — | 外径 Φ12 快插接头（Rc1/2），PCW 循环 |
| 排气量 | m³/min | ≥4 |
| 静态压力 | kPa | 0.4（设备主体连接端口） |
| 排气接口 | — | 波纹软管 ID90 × OD100 mm；客户接内径 100 mm 排气管 |
设备尺寸与重量
| 项目 | 单位 | DY1000 |
|---|---|---|
| 主机尺寸 W × D × H | mm | 1,090 × 2,140 × 2,026 |
| 主机重量 | kg | 约 4,000 |
| 真空单元尺寸 W × D × H | mm | 750 × 360 × 540 |
| 真空单元重量 | kg | 约 60 |
| 冰机尺寸 W × D × H | mm | 560 × 300 × 400 |
| 冰机重量 | kg | 约 30 |
| 增压泵尺寸 W × D × H | mm | 350 × 250 × 300 |
| 增压泵重量 | kg | 约 5 |
真空单元参数中的耗水量为 2.5 L/min（23±2 ℃）；厂务供水要求为 5 L/min（室温），分别按规格书对应章节列示。
INSTALLATION
安装环境
| 项目 | 单位 | DY1000 |
|---|---|---|
| 室温 | ℃ | 20–25（变化 <±1 ℃） |
| 湿度 | % RH | 55±15，无凝结 |
| 砂轮冷却温度 | ℃ | 室温 +2；每小时最大变化 1 |
| 主轴冷却温度 | ℃ | 20–25；每小时最大变化 2 |
| 供电质量 | — | 208 V AC±10%，三相；无明显电压变化、噪音或瞬间停电 |
| 振动 | — | 振幅 <5 μm（≤10 Hz）；加速度 <0.02 m/s²（≤10 Hz） |
| 气体质量 | — | 过滤效率 0.00001 mm / 99.5% 或更好；露点 ≤−15 ℃；残油 <0.1 ppm |
| 地面 | — | 平整，承重 >6 t；接地按当地规定执行 |
| 安装位置 | — | 配备空气、水、电源与排水口；软管内部清洁。远离噪音、振动、热量、油雾、风扇及通风口。 |
DAYAN / 大衍
DY1000 碳化硅晶圆减薄机
选型时请提供晶圆尺寸、初始厚度、目标厚度及精度要求。