晶圆切割、划线与开槽
支持硅、碳化硅及蓝宝石等材料的激光加工光路。
大衍光学提供
- 聚焦透镜与激光反射镜
- 按波长、脉宽和能量密度确定膜层要求
晶圆激光加工、缺陷检测和精密测量,对光学元件的透射率、吸收、面形与使用稳定性提出不同要求。材料选择与光谱设计需要与具体工艺相匹配。
大衍面向半导体设备与晶圆加工需求,提供紫外至红外光学元件、精密面形加工与镀膜方案,并配套碳化硅晶圆减薄和机器人光学抛光设备。

按应用需求确定材料、加工与镀膜方案,支持从样品试制到批量 OEM 供应。
支持硅、碳化硅及蓝宝石等材料的激光加工光路。
大衍光学提供
面向 SiC 晶圆的研磨减薄与厚度控制。
大衍光学提供
用于缺陷检测、成像与光学尺寸测量。
大衍光学提供
结合紫外及深紫外光路的材料和光谱需求进行设计。
大衍光学提供
面向微孔加工、晶圆标记和精密光束整形。
大衍光学提供
依据客户需求,面向特定市场与应用,完成光学元件的设计、加工制造与镀膜,并提供从样品试制到量产 OEM 的一站式供应。
结合应用工况确认材料、工作波长、口径、面形与光谱指标。
围绕客户图纸与技术要求组织加工、抛光和镀膜。
按照约定的验收标准开展检测,支持样品验证与批量供货。
以明确的技术指标和检测要求,衔接研发验证与批量生产。
请提供工作波长、口径、材料、面形/表面质量及预计用量。陈先生 · 18995557297
电话咨询