半导体

晶圆激光加工、缺陷检测和精密测量,对光学元件的透射率、吸收、面形与使用稳定性提出不同要求。材料选择与光谱设计需要与具体工艺相匹配。

大衍面向半导体设备与晶圆加工需求,提供紫外至红外光学元件、精密面形加工与镀膜方案,并配套碳化硅晶圆减薄和机器人光学抛光设备。

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半导体晶圆与激光加工系统

面向半导体的光学方案

按应用需求确定材料、加工与镀膜方案,支持从样品试制到批量 OEM 供应。

晶圆切割、划线与开槽

支持硅、碳化硅及蓝宝石等材料的激光加工光路。

大衍光学提供

  • 聚焦透镜与激光反射镜
  • 按波长、脉宽和能量密度确定膜层要求
碳化硅晶圆减薄

面向 SiC 晶圆的研磨减薄与厚度控制。

大衍光学提供

  • DY1000 碳化硅晶圆减薄机
  • In-feed 研磨与双探针接触式测厚
晶圆检测与计量

用于缺陷检测、成像与光学尺寸测量。

大衍光学提供

  • 球面、非球面透镜及精密窗口片
  • 面形、表面质量与透射光谱检测
紫外激光加工与退火

结合紫外及深紫外光路的材料和光谱需求进行设计。

大衍光学提供

  • 紫外光学材料选型
  • 减反射膜、高反射膜及光束整形元件
先进封装与精密加工

面向微孔加工、晶圆标记和精密光束整形。

大衍光学提供

  • 非球面、轴锥及柱面光学元件
  • 光学元件精密加工与机器人抛光

大衍的定制制造服务

依据客户需求,面向特定市场与应用,完成光学元件的设计、加工制造与镀膜,并提供从样品试制到量产 OEM 的一站式供应。

按需设计从应用规格出发
样品试制支持研发验证
批量 OEM配合生产与交付

从需求到交付

1
需求分析与设计

结合应用工况确认材料、工作波长、口径、面形与光谱指标。

  • 光学方案评估
  • 加工公差确认
  • 镀膜指标约定
2
精密加工与制造

围绕客户图纸与技术要求组织加工、抛光和镀膜。

  • 光学材料加工
  • 平面与曲面抛光
  • 定制光学镀膜
3
检测与交付确认

按照约定的验收标准开展检测,支持样品验证与批量供货。

  • 面形与表面质量
  • 光谱性能检测
  • 批次与交付记录

质量与交付管理

以明确的技术指标和检测要求,衔接研发验证与批量生产。

技术指标

  • 在项目开始前确认工作波长、使用条件、加工公差与验收方法。

检测与验收

  • 根据项目要求约定检测项目,并提供相应的检测与验收资料。

批量交付

  • 围绕样品验证结果、生产数量与交付计划,推进后续 OEM 供货。

与大衍讨论您的半导体光学需求

请提供工作波长、口径、材料、面形/表面质量及预计用量。陈先生 · 18995557297

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